二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9235816 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的蝕刻器/asher設備,用於創建具有復雜布局的精細圖案化曲面。它具有高分辨率的XY級，用於晶片的精確對準，並配有直接到盤式真空卡盤，用於優化晶片的處理和定位。該系統有多種工藝選擇，使生產具有靈活性。它專為高批量生產而設計,具有快速、準確的處理速率,可提供精確的可重復性,以實現多次運行的一致性。NOVELLUS Vector Express附帶了一系列可重復過程的工具和功能,例如高度精確的5軸線性驅動級、大型8英寸電子光束源以及用於全過程管理的內置配方管理器。它還配備了全套自動化智能清潔劑，如噴霧就地清潔劑和集成負載鎖，以便可靠的晶圓處理。LAM RESEARCH Vector Express具有精確、靈活、可控和可重復的工藝,是蝕刻/刻蝕高密度布局的理想選擇。該單元還設計用於兼容最新一代的亞微米技術，並帶有標準的多區域掃描無缺陷操作。Vector Express采用低維護、高效的布局,易於操作和維護,並與其他機器輕松集成,以實現無縫生產環境。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express也有一系列安全功能來保護其操作員，包括綜合氣體泄漏檢測機、密閉空間監控和通風工具。它還具有遠程控制功能,以便操作員可以遠程監視資產操作。憑借所有這些功能,NOVELLUS Vector Express是一種可靠且安全的生產線蝕刻/灰化解決方案。