二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9251477 待售

LAMLAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是業界領先的Etcher/Asher，用於高精度半導體器件制造。該機利用先進技術，實現了各種器件層的高通量和精確蝕刻。NOVELLUS Vector Express配備了可信的Samco等離子體源,可優化速度和可靠性,從而提供過程穩定性,以生產缺陷最小的高產晶片。其專有的DUPMAS和SAMCOFIT算法也有助於建立穩定的過程。LAM RESEARCH Vector Express通過嚴格控制功率、壓力和溫度等過程變量,提供了快速的蝕刻速率和精確的晶圓圖樣。其先進的IXE（離子交換蝕刻）技術還通過提供更廣泛的動態範圍來控制蝕刻均勻性來實現高蝕刻精度,即使在高長寬比圖樣特征上也是如此。此外，該系統還提供高效的晶片加載和分類功能。Vector Express包括一個高密度的感應耦合等離子體（ICP）源，提供蝕刻速率、蝕刻各向異性、蝕刻選擇性、晶圓均勻性、深度均勻性和工藝重復性的最佳組合。該系統配有一個緊密控制的卡盤頭，在蝕刻過程中將晶片固定到位，防止任何背面汙染。ICP源可以平穩地提高到更高的功率,從而進一步縮短過程時間。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express可以整合一系列表面處理，包括沈積、蝕刻、剝離和圖樣。它還提供高級功能,例如用於晶圓傳輸的FOUP控制功能、從FOUP到處理的產品可追蹤性以及自動堆叠。它的用戶友好界面提供了幾種菜單選項和設置，可以根據任何應用程序的需求進行定制。綜上所述,LAMNOVELLUS Vector Express/Asher是一款令人印象深刻的機器,提供各種設備層的高吞吐量和精密蝕刻。它采用先進的IXE技術,能夠生產出缺陷最小的優秀晶片,其集成的等離子體源支持快速蝕刻速率和極其嚴格的蝕刻均勻性控制。它非常適合生產和開發應用。