二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9270599 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一種最先進的蝕刻器/asher，可以在基板上沈積和蝕刻不同厚度的層。這種創新的蝕刻器/asher利用激光激活的宏機制（LAMM）使用戶能夠對圖層組成進行超精確的編輯。LAMM還大大縮短了蝕刻和沈積層所需的周期時間。NOVELLUS Vector Express適用於需要單層或多層不同材料的應用，能夠以極高的精度沈積或蝕刻鋁、多晶矽、二氧化矽、氮化矽和鎢材料。蝕刻器/asher的最大基板尺寸為380x380mm，可以蝕刻到0.5µm，在薄層上質量很高。LAM RESEARCH Vector Express具有獨特的工具設計,可確保一致且可重復的蝕刻結果。該設備配備了兩個與蝕刻機平臺同步的預對準激光器。這允許跨蝕刻區域的超平滑等離子體輪廓,從而控制材料的蝕刻速率。Vector Express還具有集成的Adaptive Scanning,可實現低功耗優化和精確蝕刻/沈積層。由於LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express的高精度和重復性，它可以用於一系列苛刻的蝕刻/沈積過程。高效，可處理厚達200毫米的基材。蝕刻器具有大批量生產能力，最大蝕刻速率高達每小時300晶圓。此外,NOVELLUS Vector Express通過其易於使用的用戶界面和快速、易於更換的部件,實現了最低限度的維護。這種最先進的蝕刻器/asher是任何蝕刻/沈積過程的完美解決方案。LAM RESEARCH Vector Express以其高精度、重復性和效率，適合一系列應用，是任何大批量生產需求的理想選擇。