二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9284871 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高級蝕刻器/asher,專為處理一系列具有挑戰性的材料集而設計。利用先進的多站等離子體化學蝕刻技術，NOVELLUS Vector Express能夠深入蝕刻到電介質、金屬和其他材料堆棧中。該系統具有較高的吞吐率和卓越的過程控制。它的溫度區功能和超穩定的專有波紋管系統縮短了周期時間,並為所有處理過的物料堆棧提供了統一的蝕刻解決方案,從而實現了緊密驅動的過程和可重復的結果,使結構變得越來越復雜。LAM RESEARCH Vector Express設有兩個室和最多三個站，可配置用於蝕刻、沈積或退火過程。它為高端蝕刻功能提供了高達600瓦的等離子體功率範圍,並可根據低端蝕刻需求進行撥號。此外,Vector Express還提供了許多高級功能,以提高吞吐量和優化性能。其中包括內部氣體升力送料機、激光切斷、視距FRC、可調蝕刻速率等等。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express還提供了高級軟件控制，並且與大多數軟件包兼容。它具有內置的數據日誌記錄功能,允許客戶跟蹤蝕刻周期中的每個設定點和過程步驟。這些數據可用於進一步優化和完善流程以滿足特定要求。最後，NOVELLUS Vector Express也是低成本擁有與營運。它擁有一個強大的設計，這有助於確保它將在未來幾年提供可靠的結果。它是高度模塊化的體系結構,允許用戶添加多個模塊和自定義,從而滿足他們的需求。總而言之，LAM RESEARCH Vector Express是一款高級蝕刻器/asher，旨在提供卓越的蝕刻、沈積和退火工藝能力。它可配置為適合各種材料堆棧,其高級功能使客戶能夠可靠地從其最具挑戰性的材料中獲得可重復的結果。此蝕刻系統的低成本所有權和與大量軟件包的兼容性使其成為那些希望加快周期時間和提高流程效率的用戶的理想選擇。