二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294235 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的蝕刻/asher設備，用於半導體器件制造。它旨在實現半導體晶圓和基板上圓形和直線特征的高精度陣列。NOVELLUS Vector Express是同類系統中最先進的一款，因其能夠以速度和精確度制作高端圖樣而受到業內專家的高度評價。LAM RESEARCH Vector Express設有閉環控制單元，用於監測調整等離子流量、流量方向、電壓、蝕刻速率、氣體濃度等參數。它還具有高分辨率的無掩碼光刻機，用於創建高度精確的直線和水平特征。該工具能夠實現低至1微米的特征大小,並且能夠以高速率進行蝕刻,從而保持零不對齊,並確保最高精度。Vector Express旨在通過其密度優化功能降低總擁有成本。這一功能可實現大容量批量生產,減少資產中的車輛數量,從而提高產量和成本效益。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express還設計了高級安全功能,以保護操作員並顯著降低發生事故的風險。最後,NOVELLUS Vector Express采用模塊化設計,使模型具有靈活性和可擴展性。這樣可以確保用戶在需要時使用最新的組件和功能升級設備。LAM RESEARCH Vector Express也是高度可升級的，允許用戶根據需要出租模塊，從而保持低成本。因此,Vector Express是生產高質量、高產量、低成本半導體產品的理想系統。