二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9294406 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款為半導體行業內的高通量處理而設計的蝕刻器/asher。NOVELLUS Vector Express是一款高性能、高速、多光束的設備，可用於各向異性蝕刻、各向異性蝕刻、深蝕刻等多種蝕刻沈積工藝。它利用多種操作模式對晶片進行快速、精確、有針對性的處理，包括可用於快速蝕刻或沈積材料的高通量處理模式。LAM RESEARCH Vector Express利用類激光光源確保其處理的均勻性和準確性。其光束通過數個光學元件進行處理，包括一個數字鏡像裝置（DMD）和一個空間光調制器（SLM）。DMD創建了產生激光般光束的光波的精確組合，而SLM則調制照明模式，使光束精確成型，以滿足給定過程的特定需求。Vector Express還具有超高強度離子束（UHI-IB）系統,該系統可加速離子並將其引向圖案化的基板。該裝置能夠通過生產更快、更精細、更精密的石膏而產生更好的蝕刻工藝。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用平鋪蝕刻陣列對離子束的放置進行編程,以精確蝕刻特定的圖樣。這臺機器非常適合刻蝕具有高質量和重復性的深層復雜圖案。NOVELLUS Vector Express廣泛應用於半導體行業，因為它可以在使用最小化學材料的同時，以高精度和速度蝕刻復雜的圖樣。它能夠快速產生精確的蝕刻圖樣，沈積具有優異保形性的材料，並在極低的熱載荷下進行快速的處理。LAM RESEARCH Vector Express也與傳統的蝕刻和沈積工藝完全兼容，允許研究人員使用相同的工具、設備和材料進行濕法或幹法加工。最後,Vector Express對用戶友好,需要最少的維護,這意味著它可以快速輕松地集成到現有的實驗室或生產設置中。