二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9298589 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是NOVELLUS製造的多室蝕刻器/asher。它在半導體和電子工業以及研發應用中用於圖樣面膜和結構的精密蝕刻或灰化。它具有在直徑不超過200毫米的大型單基板上進行傳統蝕刻和新的灰化操作的能力。NOVELLUS Vector Express是一款先進的、全自動的生產蝕刻器/asher,具有多個處理室,可容納各種樣本量和配置。LAM RESEARCH Vector Express配備了業界領先的蝕刻和灰化源，結合了每種工藝的速度、精度和性價比。它具有低溫蝕刻能力，可降低至25°C，具有低壓操作和嚴密的工藝控制能力。Vector Express在設定點± 0.1°C內提供溫度穩定性,其過程步驟為十分之一秒,並且具有飛行時間精度,可提供出色的過程重復性。它直觀的用戶界面使得編程既快速又容易，無論是遠程的還是在機器上。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express率先將腔室隔離和快速熱退火（RTA）結合在一起，提供單一蝕刻和灰化系統，可以處理廣泛的工藝要求。它具有可擴展、可升級和高度靈活的配置,能夠靈活應對不同的蝕刻難題。加工室可以根據工藝要求輕松快速地交換。該機具有微型發射器和高精度掃描功能，可以使蝕刻和灰化過程完全自動化。NOVELLUS Vector Express還設計用於在各種加固的制造環境中可靠運行,其控制系統旨在減少停機時間和維護成本。該機還符合所有最新的安全法規和標準，采用尖端技術提供可靠、低成本的操作和更長的使用壽命性能。LAM RESEARCH Vector Express是任何在蝕刻和灰化操作中尋求最高精度和可靠性的人的理想選擇。