二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9314358 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款為半導體制造過程中的精確蝕刻控制而設計的蝕刻器/asher。它具有卓越的性能和工藝穩定性，具有高達每小時20萬晶圓的高沈積速率，以及低排泄率的基板沈積。NOVELLUS Vector Express是一款具有高級過程控制軟件的靈活、高速、全場蝕刻器/asher。高級軟件功能允許為每個蝕刻運行設置精確的蝕刻條件,並確保可以在穩定的工藝條件下執行蝕刻操作。LAM RESEARCH Vector Express/Asher設計了一個自動晶片裝卸系統，以減少體力勞動和確保最低限度的汙染風險，以及氣體分配網絡，以提供最佳的化學種類/試劑穩定性。它能夠蝕刻和灰化高長寬比結構，以及高分辨率特征，使用多種氣體如氯、氟、六氟化硫和氧氣。蝕刻器/asher符合最新的半導體行業標準,如SEMI P-12、P-17和P-25。Vector Express 蝕刻器/asher利用模塊化、用戶友好的軟件界面來管理所有蝕刻/ashing操作。該軟件提供了一個易於使用的環境,用於設置蝕刻參數（如過程持續時間、溫度、功率級別和流率）,以及用於監視蝕刻/灰化操作的直觀用戶界面。軟件還支持實時流速監控、流程歷史記錄存儲和流程後分析工具。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express 蝕刻器/asher可用於各種蝕刻/灰化操作，如淺溝隔離（STI）蝕刻、深溝隔離（DTI）蝕刻、選擇性氧化物蝕刻、晶片清洗和金屬沈積。蝕刻器/asher設計有嵌入式視覺系統,允許操作員在蝕刻/ashing操作之前以視覺方式驗證特征結構。此外，蝕刻器/asher采用全場等離子體蝕刻技術設計，無論晶片上的特征大小或位置如何，它都能在整個晶片上提供均勻的蝕刻深度。NOVELLUS Vector Express 蝕刻器/asher是一款功能強大、靈活的半導體制造商機器。它提供卓越的蝕刻/灰化能力、出色的工藝控制和降低汙染風險,使其成為高級半導體工藝流程中蝕刻/灰化操作的絕佳選擇。