二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9362218 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款先進的蝕刻器/asher，能夠對半導體結構進行精確蝕刻和灰化。NOVELLUS Vector Express使用先進技術實現優於傳統蝕刻工藝快十倍的優越蝕刻速率。LAM RESEARCH Vector Express是一款完全集成且經濟實惠的蝕刻和灰化設備,旨在實現半導體制造的最大靈活性和生產率。Vector Express強大的控制系統提供高吞吐量,最大處理速度可達25厘米/分鐘。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express利用其4軸運動單元,同時沿X、Y和Z軸移動,以及輔助旋轉軸,能夠精確控制過程。NOVELLUS Vector Express使用專利的非接觸自動跟蹤機制,可以在單個設置中對大型晶片執行蝕刻和灰化操作。LAM RESEARCH Vector Express的核心技術是其直流等離子體源，具有較高的蝕刻速率和卓越的均勻性。直流等離子體源的擁有成本較低，因為它們使用的氣體較少，需要的消耗性部件極少，維護也極低。直流等離子體源還支持多種氣體，以便為特定應用進行蝕刻。此外，Vector Express能夠使用其先進的等離子體源提供無與倫比的蝕刻深度均勻性，該等離子體源能夠嚴格控制晶圓上千分之一毫米範圍內的蝕刻深度。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express還配置了高級流程控制功能，旨在一鍵提供精確的流程控制。該機器提供高級軟件工具,如其高級自動蝕刻控制（AAEC）和低壓蝕刻（LTPe）,使用戶能夠在最短的設置時間內實現高流程產量。此外,NOVELLUS Vector Express還采用超長排氣通風室設計,可提供可靠高效的化學反應蝕刻廢氣和加工室內的灰燼氣體廢氣。最後,LAM RESEARCH Vector Express是一款高級蝕刻器/asher,旨在提供最大的生產效率和工藝性能。Vector Express通過其獲得專利的技術和精密的工藝控制功能,以最大的吞吐量實現了高質量的蝕刻和灰化。