二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9372786 待售

來自NOVELLUS的LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一個高級蝕刻器/asher平臺,專為精密應用而設計,需要精確的微結構和基板操作。它具有一個標準的絕緣真空室，以減少微粒滲透，一個集成的氣體和化學輸送設備，以及先進的掃描和焦點離子束（FIB）能力。NOVELLUS Vector Express還設有獨特的基板階梯式表面軟件，自動創建一系列淺通道，用於蝕刻沒有紫外線暴露的狹窄路徑。LAM RESEARCH Vector Express還包括激光/光束位置反饋系統、高級定位機制、自動基片對準系統（SWAS）和受控環境空氣冷卻單元等多種高級工具和監控功能。其集成氣體輸送機允許用戶輕松調整化學成分、壓力、溫度等參數，以達到最佳蝕刻條件。Vector Express由於其離子束光學器件提供了無與倫比的精確度和精確度水平，使得復雜圖案的蝕刻成為可能。此外，其先進的工藝控制工具自動校準並保持最佳蝕刻參數。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express還具有直觀的用戶界面,使用戶能夠輕松訪問各種工具和功能,如基板選擇、自動和手動對齊以及參數選擇。NOVELLUS Vector Express的性能因其多平面氣流資產、快速的介電護環去層工藝以及增強的濕蝕刻技術而得到進一步提升。該模型還包括一個可編程的噴嘴頭陣列，允許用戶一次訪問多種蝕刻技術。最後，LAM RESEARCH Vector Express還包括了一些蝕刻後數據分析和監測的功能，允許加強過程控制和縮短檢查時間。