二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9378305 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款通用蝕刻器/asher，非常適合中高批量生產各種半導體器件結構。NOVELLUS Vector Express具有堅固的薄膜沈積設備和獨特的激光陣列工藝,提供卓越的步長覆蓋和精確的線路保真度。該系統與所有主要的抗蝕劑化學系統兼容，實現等離子體蝕刻和先進的光致抗蝕劑去除選項。LAM RESEARCH Vector Express還采用了一種新穎的過程控制器，為用戶提供了一套全面的過程監控功能。Vector Express專為高產量生產而打造，狹隘地專註於電容器、晶體管和其他先進的器件結構。該裝置包括一個200毫米的搬運平臺，能夠高效率地裝載、運輸和卸載晶片，以及全方位的工藝配方。配方生成器允許用戶快速開發定制配方，並為流程優化提供了強大的平臺。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express的設計旨在最大限度地提高吞吐量和工藝產量,同時最大限度地減少周期時間。它具有高精度、高通量的腔室，用於特殊蝕刻應用和批量蝕刻工藝。該機器的設計在批量和群集配置方面都具有卓越的性能。該工具采用了獨特的激光制圖工藝，消除了傳統的光刻膠去除技術，並以最小的線寬變化提供了精確的蝕刻圖案。NOVELLUS Vector Express還融合了兩種不同類型的跡線墨盒，提供了最佳的跡線間距、線條精度和圖案保真度。LAM RESEARCH Vector Express采用多種硬件和軟件工具,可實現最大程度的控制和自動化。它包括一個功能強大的配方生成器、一個集成的過程參數控制模塊以及一個高級數據記錄和分析包，所有這些都允許用戶管理和優化蝕刻過程。Vector Express經認證可用於各種潔凈室環境，包括ISO 14644-1 Class 5和Class 7。其全面的設計和嚴格的測試確保了高性能、穩定的生產和提高的可靠性,使其非常適合商業和研究級應用。