二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9390434 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款用於半導體加工的多室、最先進的批量蝕刻器/asher設備。一種全自動批處理過程,能夠同時運行任意數量的介質機器周期,從而實現高吞吐量和準確性。該系統包括三個具有計算機控制操作的獨立腔室、定制腔室壓力控制以及一個用於微調功率的高功率、變頻射頻發生器。NOVELLUS Vector Express實現合作蝕刻，這是一個創新的過程，其中一個蝕刻室交替向晶片提供惰性氮（用於蝕刻）或活性氧（用於清潔）。該單元包括多種蝕刻和清潔工具，包括反應性離子蝕刻（RIE）技術、嵌入氧氣等離子體源的原位清洗以及可編程的幹蝕刻工藝。這樣可以去除不需要的材料層，並以極其精確的方式沈積所需的導體。LAM RESEARCH Vector Express的高精度運動控制有助於確保準確的過程重復性。這得到機器高級數據處理功能的支持,這些功能提供對過程的實時分析和反饋,使操作員能夠優化和控制蝕刻或灰化過程。該工具還可用於晶圓升降機等需要頻繁清洗的半導體設備的灰化。與使用溶劑進行手動清洗相比,Ashing可以實現更多的控制過程,因為它可以精確地清除有害的殘留物,而不會造成組件損壞的風險。為了為用戶提供最佳安全,Vector Express配備了額外的監控模塊,以檢查是否有危險氣體泄漏或其他不安全的情況。最後，作為同類產品中最環保的蝕刻器，資產有一個集成的排氣模型，以確保任何有害氣體得到安全管理和過濾。