二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9401497 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款最先進的蝕刻器（又稱asher），旨在將廣泛的特征精確蝕刻到基板上。這臺先進的機器提供了許多特性和優點,確保了高質量的精密蝕刻和先進的圖樣精度。NOVELLUS Vector Express具有高度的多功能性,因為它提供了具有多種基材材料的自動化工藝,具有從晶圓蝕刻和BARC塗層到離子銑削、離子植入和高分辨率3D成像等各種工藝功能。LAM RESEARCH Vector Express也因其先進的控制設備提供了提升的處理速度、無與倫比的精確度和出色的質量控制，使其非常適合廣泛的應用領域。Vector Express先進的控制系統允許全方位的處理能力，如具有亞微米級精度和厚度控制的高速、高精度蝕刻，以及工藝優化、精密沈積和模式傳遞。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express還提供靈活性和多模式功能,其即時基板和配方選擇可用於垂直和水平蝕刻。NOVELLUS Vector Express蝕刻裝置通過其高科技控制機器、先進的溫度和等離子體監控、快速簡便的底物和配方加載以及通用的數據分析,提供了更高的效率、生產力和可靠性。此外,LAM RESEARCH Vector Express還提供高級安全功能,如動態過載保護和故障監控,以確保可靠的運行和長期的可靠性。Vector Express Etcher在高級蝕刻過程中提供卓越的性能和可靠性,提供高精度、高效率和生產率。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express先進的控制工具和功能使其成為從晶圓蝕刻到高分辨率3D成像等廣泛應用的理想選擇。