二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Express #9412146 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款高性能蝕刻器/asher，采用高級蝕刻和蝕刻工藝，實現高精度的圖樣和蝕刻處理。這款多功能設備將最新技術與LAM備受贊譽的NOVELLUS Vector Express蝕刻工藝相結合。LAM RESEARCH Vector Express旨在提高處理的統一性、準確性和吞吐量,並實現即使是最復雜的地形和幾何形狀的高精度制造。Vector Express結合了眾多功能和設計元素,可提供最大的蝕刻性能和改進的用戶體驗,並具有諸如自動系統校準、高級薄膜沈積和蝕刻控制軟件等尖端功能,以及突出的用戶界面。這些功能使設備能夠提供卓越的蝕刻一致性和統一性,並最大限度地減少刀具維護和工藝優化所需的時間。該機器還提供自動配方生成和設置功能,以及一整套集成過程監控工具。利用高級傳感器和工藝診斷系統來檢測和響應工藝參數,使LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express能夠根據每個應用程序的最佳加工參數進行自我調整。這樣可確保通過多種材料進行高精度蝕刻,從而無需昂貴的手動設置和校準。NOVELLUS Vector Express提供了一種既可靠又易於使用的集成晶圓處理工具。晶片處理設備的設計目的是通過提供密封和清潔的腔室、擋板排氣流以及優化的基板和基座設計,最大程度地減少有害的汙染。晶圓處理也由於LAM直觀的SmartCart™模型而變得簡單高效，這使得晶圓能夠定位在基板上正確的位置。該設備由強大的軟件平臺提供動力,使用戶能夠輕松創建、保存和加載其配方,並為標準和專有蝕刻配置文件提供支持。通過使用LAM集成的Process Expert™軟件,使蝕刻過程的定制變得簡單直觀,該軟件提供了即時蝕刻優化。其直觀的用戶界面還允許用戶快速開發配方，並快速保存後使用。總體而言,LAM RESEARCH Vector Express是一個功能強大、可靠且用戶友好的蝕刻/蝕刻系統,提供業界領先的蝕刻性能和效率。它是高精度蝕刻的完美工具，能夠滿足業界最苛刻的要求。