二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293625417 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款蝕刻器和asher,它結合了等離子體處理、高級腔室設計和靜電屏蔽夾具技術,可提供靈活性、性能和生產力。NOVELLUS Vector Extreme具有出色的工藝控制和可配置性,非常適合前端和後端半導體制造過程。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME具有600mm高縱橫比和6區平衡室，電極功率低，提供了改進的介電均勻性和蝕刻輪廓控制。它還利用獨特的高頻感應耦合等離子體（ICP）源實現了出色的蝕刻速率均勻性、成本效益和最小化濺射。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME還采用了獨特的電子回旋共振（ECR）源,以實現最大均勻性和蝕刻速率能力。ECR源有助於最大限度地減少觸摸設備和集成電路中的電弧插頭,並有助於減少副產品和改善材料性能。Vector Extreme還采用了雙碳化矽靜電屏蔽夾具和雙向夾具旋轉，將汙染降至最低。LAM RESEARCH Vector Extreme還具有可調壓力和可變通量控制，並以合適的工藝調諧，可提供世界一流的吞吐量和優異的產量。它是各種材料的沈積、蝕刻和灰化的理想選擇，包括矽、銅、的、矽化物、鎢和氮化物。借助高級控制軟件,可以輕松調整和監控VECTOR EXTREME,以確保最佳的過程穩定性、控制設置點和性能分析,最大限度地減少停機時間並提高產量。NOVELLUS VECTOR EXTREME由於其提高的吞吐量和出色的工藝控制能力，是一種適合大容量應用的理想蝕刻和灰化解決方案。