二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293754399 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一種蝕刻器或asher，用於集成電路（IC）的制造。它能夠在盡可能短的時間內以高精度創建復雜的設計。NOVELLUS Vector Extreme是為現代電子設備創建高速、高精度IC的重要工具。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME采用尖端的、強烈的等離子體蝕刻工藝，以極高的精度蝕刻極微小的IC圖樣。它使用多弧等離子體源來創建用於蝕刻圖樣的均勻、非常高密度的等離子體。這個等離子體源由射頻發生器驅動，這也有助於保持高度均勻的等離子體分布。NOVELLUS VECTOR EXTREME還配備了先進的軟件，使其能夠在配方之間快速切換（蝕刻模式）。這使得機器可以在廣泛的蝕刻應用中使用，包括淺溝、微通氣和深溝技術。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME能夠同時蝕刻多達四個晶圓,並且能夠蝕刻高達8.5微米（1/8mil）的特征。LAM RESEARCH Vector Extreme配備了針對正在蝕刻的特定材料量身定制的新型氣體輸送系統。這種氣體通過等離子體小心翼翼地分布，以便進行更精確的蝕刻。此外，可以調整蝕刻工藝，以便能夠蝕刻晶圓的兩側。機器的壓力控制系統也確保了過程保持一致和受到控制。總體而言,Vector Extreme是一個功能強大且用途廣泛的蝕刻解決方案,旨在以最高的精度和速度創建復雜的圖案。它是制造高科技集成電路的寶貴工具，其先進的軟件和氣體輸送系統使其成為各種蝕刻應用的理想選擇。