二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767058 待售
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ID: 293767058
優質的: 2012
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2012 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是一款多用途蝕刻機和asher，旨在通過生產提供快速準確的基板加工。它是一種高速設備,在吞吐量和運行效率方面均表現出色,同時提供精細線成像功能。NOVELLUS Vector Express配備了多專利、高密度的RF靜電卡盤，能夠精確控制腔室壓力和溫度，提高工藝產量。該系統還具有靈活的可變壓力選項,可為要求最苛刻的應用程序實現最佳的流程可重復性。LAM RESEARCH Vector Express配置了電弧檢測單元，以避免過載並實現高效的材料利用。其自動化的過程控制和實時反饋提供了高保真度的一致性和卓越的細線分辨率。Vector Express的高功率射頻發電機易於調節，在不犧牲性能的情況下優化基板蝕刻。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express用途廣泛,可處理多種應用,包括灰化、蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）。該機專為大面積電介質、多晶矽、氮化物膜的沈積而設計。它為無陣列薄膜提供了出色的步進覆蓋,非常適合制造先進的設備組件。NOVELLUS Vector Express配備了高級流程監控功能,可提供實時室內診斷,以確保最佳蝕刻性能。該工具的用戶界面為快速啟動生產提供了直觀的觸摸屏控制。LAM RESEARCH Vector Express是為了最大限度的安全性與可操作性，以特殊的吸振機制構成LAM Research Vector Express。該資產具有低調的特點,便於維護,並縮短了占用空間以有效利用有價值的生產空間。最後,來自NOVELLUS的Vector Express是一款出色的蝕刻器和asher,專為提供各種先進基材的最佳蝕刻輪廓而設計。其射頻發生器易於調節，保持高精度蝕刻，而先進的工藝監控系統則提供卓越的實時反饋和診斷。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express是按人體工程學設計的,為安全和易於操作而低調設計,其自動化控制確保了高效的生產吞吐量。
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