二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #293767216 待售
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ID: 293767216
優質的: 2014
System
Chamber position / Gases
Unit 1 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 2 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
Unit 3 / SiH4, N2, C2H2, H2, HE, O2, NF3, AR
2014 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是專門為先進的電化學和物理氣相沈積應用而設計的蝕刻器/灰化器。NOVELLUS Vector Extreme是性能和質量的完美結合,提供高吞吐量和直觀的用戶界面,使用戶可以輕松設置和調整配方參數。其精密運動設備和數字系統為蝕刻工藝提供了卓越的精度和可重復性，使高密度成像能夠在最復雜的晶片基板上進行。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME提供卓越的成像速度、低排便、優越的形態、快速的周轉時間。該單元的最大吞吐量速率為每小時4200個晶圓，並提供精確的過程控制，使用戶能夠以準確和可重復的方式實施過程配方。它具有一個能夠容納多種工藝構型的工藝室，包括多源蝕刻、雙目標離子銑削和化學氣相沈積（CVD）。為了應對高端蝕刻應用的挑戰，NOVELLUS VECTOR EXTREME采用了高速多源噴射器和交替雙磁控管等離子源。VECTOR EXTREME機器采用專利核心技術,提供一流的蝕刻/asher性能。該工具先進的交互式實時控制技術提供了快速的反應時間以及即時調整頻率和占空比等關鍵參數的能力。其開環運動資產允許將運動元件定位在0.25 µm ±以內，而其集成視覺模型則確保了將目標定位在腔內時的高度精度。VCA（基於視覺的控制和分析軟件）允許用戶輕松管理流程參數,設備的高級自動化軟件使用戶能夠快速高效地構建和實施復雜的配方。LAM RESEARCH Vector Extreme系統還具有高級監控和診斷功能,可確保正常運行時間和過程質量。利用內置的流程監控功能,該單元可以立即提供有關室內性能的反饋,而直觀的用戶界面提供易於使用的設置和配方管理。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME機器符合所有半導體安全法規,為操作員提供安全的工作環境。總之,Vector Extreme 蝕刻器/asher在高度可靠且易於使用的封裝中提供卓越的性能和質量。其先進的實時控制技術、快速的反應時間和精確的運動工具使用戶能夠以速度和精度制造復雜的結構，使其成為先進蝕刻應用的理想解決方案。
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