二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9099744 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款先進的蝕刻器/asher，利用等離子體反應離子蝕刻（RIE）技術處理具有高度精確蝕刻和身體偏置應用的晶片。該設備提供高精度和均勻性的線性蝕刻控制，能夠處理各種晶圓尺寸、溫度和環境。NOVELLUS Vector Extreme設計用於潔凈室環境，由兩個獨立的子系統組成，彼此獨立工作，以確保最高級別的蝕刻精度和準確性。第一個子系統是等離子源系統，它產生反應性離子蝕刻（RIE）等離子體，以接近完美的精度蝕刻晶片。第二個子系統是氣體輸送裝置，它提供精確計量的蝕刻和清潔氣體混合物，以便進行最佳蝕刻處理。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME還結合了高度自動化，允許用戶自定義蝕刻輪廓的參數以滿足特定要求。此外，該機器的設計最大限度地減少顆粒汙染，以最大程度的可靠性和過程控制。NOVELLUS VECTOR EXTREME能夠實現超過1%的工藝重復性和最小30 nm的線寬,非常適合於縮放光刻應用。憑借強大的設計和卓越的功能,VECTOR EXTREME是在各種清潔環境中執行各種蝕刻和車身偏置任務的絕佳選擇。