二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9270881 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是專門為現代半導體加工而設計的蝕刻器和asher。它是先進半導體領先的多站等離子體蝕刻工具。NOVELLUS Vector Extreme的設計針對精度和高吞吐量進行了優化。它具有靈活且可配置的體系結構,可用於垂直和水平蝕刻和灰燼應用程序。這種靈活性允許自定義設備以滿足特定應用程序的目標規格。它的高分辨率光學系統提供了對等離子體的精確控制，實現了精確的蝕刻和灰燼處理。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME配備了高性能射頻感應發生器，提供穩定且可重復的等離子體處理。其先進的矢量特性使射頻發生器能夠快速準確地對準晶圓級，從而提高了加工產量。矢量裝置還確保在等離子體中一致地放置顆粒和其他汙染物，有助於防止不均勻的蝕刻和灰分結果。VECTOR EXTREME還配備了氣體混合控制臺，允許對任何特定蝕刻和灰燼配方的操作參數進行精確調整。這臺機器有助於確保可重復和可靠的結果。此外，氣體混合站可用於監測等離子體發生器中所用氣體的純度，並診斷處理過程中可能出現的問題。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME還通過其自動自清潔工具提供快速、方便的維護。此資產旨在減少停機時間並增強模型可靠性和性能。最後，LAM RESEARCH Vector Extreme兼容了多種先進的傳感器和控制器，允許用戶根據自己的特定工藝要求定制設備。最後，NOVELLUS VECTOR EXTREME是一種先進的蝕刻器，旨在實現高精度和高通量的半導體制造工藝。它的高級功能,如矢量控制、快速維護和氣體混合,確保了可重復和可靠的結果。它的高分辨率光學系統允許精確控制等離子體進行精確的蝕刻和灰分處理。最後,它與各種控制器和傳感器的兼容性幫助用戶定制設備以滿足其工藝要求。