二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9294398 待售

ID: 9294398
晶圓大小: 12"
優質的: 2010
CVD System, 12" Process: SiN / SiO 2010 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款金屬蝕刻機,設計用於精密蝕刻和退火操作。它非常適合創建對高級半導體封裝和元件制造具有微觀細節要求的元件。NOVELLUS Vector Extreme是一種全自動設備,在一個系統中使用四個獨立的晶圓掃描階段,允許它一次處理多達四個晶圓。它能夠蝕刻鋁、銅、鎢和鈦等金屬,具有無與倫比的重復性、準確性和可靠性。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME利用了一種強大的8軸機械臂,它能夠對公差低至百分之一微米的層進行退火和蝕刻,並且可以達到3nm的橫向速度。這使它能夠快速、準確地制造所需的層,而對底層的損害最小。它的可重復性和對汽化金屬的精確控制,使其成為微包裝應用的可靠選擇。LAM RESEARCH Vector Extreme配備了功能豐富的用戶界面,為機器的設置、操作和監控提供全面的信息。此用戶友好界面允許用戶監視蝕刻和退火過程的所有階段,包括冷卻階段,以確保一致和可靠的生產結果。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME采用獨特的汽化金屬廢水控制裝置,旨在確保清潔和合規的操作環境。蒸發金屬廢水采用多種過濾系統過濾,從空氣中清除所有顆粒物和氣體汙染物,減少與蝕刻和退火過程有關的健康和環境問題的風險。VECTOR EXTREME建立在DRAM600 CE平臺上,為各種應用程序提供可靠的操作和可擴展性。此平臺提供冗余功能,以確保在最具挑戰性和最惡劣的環境中運行可靠。它符合RoHS標準,可以與其他元件生產系統集成,以創建一個完整的機器,為各種半導體和工業應用提供快速可靠的制造。Vector Extreme是一款高性能的蝕刻和退火工具,它以可靠且經濟實惠的方式為客戶提供難以置信的精確度和可重復性。它的靈活性、準確性和完整的封裝使得它成為任何蝕刻和退火操作的完美解決方案。
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