二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector Extreme #9301496 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Extreme是一款采用專有過程控制算法設計的蝕刻器/asher,可為高級內存設備提供最佳的蝕刻/灰燼性能。該設備與最新一代的光掩模兼容，可以處理包括矽、低k電介質和III-V材料在內的材料。NOVELLUS Vector Extreme采用了一種新穎的分析儀應用程序來識別和表征蝕刻/灰燼過程。這包括一個獲得專利的分析器窗口,用戶可以通過該窗口精確確定最佳蝕刻/灰分參數。它還包括一個先進的主動氣體控制系統，監測等離子體性能和調整氣體流量，以優化蝕刻/灰燼過程。LAM RESEARCH VECTOR EXTREME通過等離子體輔助蝕刻，利用化學反應氣體混合物蝕刻掉層層材料。其尖端等離子體源產生高功率等離子體，以確保光滑、一致的蝕刻/灰燼過程。它的快速循環時間允許在更短的時間內進行大批量生產,而其低k回流技術則確保了最佳的蝕刻/灰燼性能,且熱膨脹和收縮造成的損害最小。LAM RESEARCH Vector Extreme還采用了新穎的Predictive Performance Unit技術,使用戶能夠輸入所需的模式,並在處理之前準確預測蝕刻和灰化結果。這臺機器從過去的蝕刻/灰燼步驟中學習微調過程以獲得更好的性能。LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXTREME被設計為最大的處理速度和精度。它具有一個大的加工室，允許同時蝕刻和粉刷多個晶片批次。它還可以連接到其他工具以提高工具的吞吐量和利用率。Vector Extreme是完全自動化的,具有集成的安保和安全系統。它支持遠程監視、警報和遠程診斷。它還能夠使用軟件修復程序自動更新自身,從而確保在其整個生命周期中實現盡可能高的性能。