二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235071 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款先進的多功能蝕刻機-asher設備,旨在精確高效地蝕刻和繪制各種材料。該系統利用硬件和軟件組件的組合來控制處理和維護所需的流程參數。硬件由大型機、計算機工作站、電源、可編程空氣供應監測器、真空和氣體調節器、超高真空源和多個處理室組成。軟件套件允許用戶開發一套指令來控制處理和微調蝕刻過程。NOVELLUS Vector使用反應性離子束蝕刻技術，這是一種利用離子束從目標材料中蒸發分子的蝕刻方法。光束中的離子向目標加速，在目標表面被吸收，然後釋放到蝕刻室的氣體環境中。氣體中的反應性離子與材料發生反應，從而產生目標材料所需的圖樣或形狀。控制單元允許用戶設置特定的工藝參數，如氣體流量、壓力和溫度，這將導致必要的蝕刻深度和寬度。在材料上蝕刻高分辨率圖樣時，LAM RESEARCH Vector機器使用光刻室，其中圖樣或掩模放置在基板上並暴露於高功率激光。基板在激光下以精確的模式移動，由控制工具的程序指令決定。圖樣暴露後，反應性等離子體蝕刻過程用於蝕刻掉基板中未受保護的區域。矢量資產可以蝕刻分辨率高達50納米或以上的x-y基板，這取決於材料和基板特性。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector模型具有多種安全功能,可幫助保護操作人員和設備附近的人員。這包括設備周圍的保護性外殼、警報器和安全聯鎖裝置,如果檢測到超出安全限制的條件,這些裝置將停止該過程。NOVELLUS Vector是一個可靠的系統，已經被證實是各種應用的主力，從頂層金屬化到3-D結構。對於許多行業的材料蝕刻和加工來說，這是一個高效、經濟的選擇。