二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235073 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款用於半導體應用的asher/etcher。它是一個功能強大的工具，提供先進的等離子體蝕刻技術和模塊化架構，提供靈活性和可擴展性。NOVELLUS Vector利用高效的多磁控管源實現了最優等離子體輪廓均勻性。它的三室架構允許快速晶片處理端（HDP-PR）變更。LAM RESEARCH Vector的高速靜電卡盤（ESC）晶圓處理設備允許提高蝕刻均勻性和吞吐量。ESC系統還結合了一種傾斜機制，允許在大面積蝕刻時改善晶圓的平行性。Vector還具有一個全面的端點（EPD）檢測單元,用於監控蝕刻速率和端點精度的可變性。為了提高CHF3蝕刻速率和選擇性，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector采用了先進的氣體生產機，包括氣體引入歧管和快速脈沖式氣體百葉窗。NOVELLUS Vector的自動氣體面板編程調整可確保快速應用最佳蝕刻過程。LAM RESEARCH Vector的基於CCD的視覺工具，從晶圓的頂部和底部表面，具有很高的識別精度和分辨率。這種雙視圖CCD資產為正面和背面蝕刻提供了精確的蝕刻位置和蝕刻面積測量。Vector還包括一個強大的模型監測能力，允許快速維護和環境數據收集和分析。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector還提供高級硬件和軟件級別的診斷功能,包括各種外部診斷。這使用戶能夠快速識別和解決任何流程問題。NOVELLUS Vector已成功部署在廣泛的光刻、蝕刻和沈積過程中。通過利用LAM RESEARCH Vector的高級功能,用戶可以將蝕刻器用於大批量生產線的復雜和簡單過程。Vector為客戶提供了極致的靈活性、高吞吐量和改進的過程控制。