二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235161 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一種蝕刻/灰化工具（或化學機械平面化（CMP）設備），用於處理半導體晶圓。它是為高吞吐量性能而設計的,具有廣泛的過程模塊,可輕松集成到生產線中。NOVELLUS Vector具有兩個階段的過程。在第一階段，使用氧化劑和蝕刻劑去除了晶圓的頂層。第二種是使用高密度等離子體（HDP），以遠高於傳統濕法化學過程的速度和更高的分辨率蝕刻表面。LAM RESEARCH Vector系統是為最大限度地優化過程效率和正常運行時間而設計的。它具有線性處理器,可降低對流程性能和速度的負面影響。它能夠用可調參數控制工藝條件，從而使工藝參數具有更大的靈活性。Vector還具有獨特的存儲模塊,可提供更清潔的流程環境,從而實現更高的保真度結果。再者，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector使用單一晶圓的方法，從而消除了批處理的需要。NOVELLUS Vector的最先進的測控能力也令人印象深刻。它具有雙級工藝監視器,在蝕刻不同層時可提高工藝控制和工藝穩定性。它還包括高級自動化對齊,以確保整個晶圓的均勻性。此外，LAM RESEARCH Vector還配備了一個自動化分析儀，可以監控蝕刻過程，並為過程優化提供反饋。總體而言,Vector是一臺高級蝕刻/灰化機,專為高吞吐量性能而設計。其創新的設計允許最大限度的過程效率和正常運行時間，以及先進的測量和控制能力。它是半導體工業的理想工具，可以為任何晶圓加工設施提供競爭優勢。