二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9235239 待售

LAM LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一種用於半導體制造的蝕刻或灰化工具。NOVELLUS Vector不僅可以執行蝕刻或灰化應用程序,還可以優化完整的流程工作流。該設備具備精確的介電蝕刻和氧化物沈積能力，可用於高質量的設備加工。LAM RESEARCH Vector采用模塊化、緊湊的設計,為小型生產運行提供了快速、可重復的過程。它極其可靠,具有較高的鑄造性能和吞吐量。該系統具有極好的均勻性和精確度以及非常緊密的工藝窗口,使其成為一系列工藝配方中的理想工具,包括高K介電蝕刻、局部互連蝕刻或銅隙填充蝕刻應用。此外,Vector強大的處理能力使其成為服務群集中揮發性材料（如高K介電蝕刻或沈積氧化物）的最佳工具。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector集成了NOVELLUS Vector控制和獨特的光束等離子體源，以實現卓越的蝕刻速率控制、均勻性和精確度。該單元還具有增強的過程自動化功能,能夠快速響應不斷變化的生產計劃。它提供了強大的過程安全功能來阻止潛在的破壞者,其先進的隧道和滑桿設計提供了更高的吞吐量和屈服性能。通過擴展的過程管理工具集成,LAM RESEARCH Vector提供了最大的靈活性和對關鍵處理參數的控制。Vector還集成了高級工藝控制功能,以確保最佳工藝精度和均勻性。它包括通用配方管理和高級流程計量能力。計量能力提供了廣泛的參數，以確保過程的準確性和統一性。該機具有快速的可編程性,可實現快速、可重復的過程優化和高生產率。此外,LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector還具有一系列安全功能,可保護操作員和關鍵設備免受潛在危害。該工具結合了安全殼和激光安全技術，以確保晶圓處理環境的安全。最後,NOVELLUS Vector的設計考慮了直觀的用戶體驗,使其易於編程和操作。