二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244820 待售
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LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款多合一蝕刻器/asher,專為處理最具挑戰性的尖端技術而設計,這些技術需要精確、可靠的蝕刻和/或粉刷。NOVELLUS Vector利用革命性自動化控制設備（RACS）來確保每個過程都按照關鍵規格進行控制。這樣可以確保每個循環均勻且可重復的蝕刻和灰分結果。LAM RESEARCH Vector配備了安靜、低振動、粒子控制、真空系統和高效的遠程等離子體源，能夠更快地處理。它具有一個快速、精確的步進和基於檢流計的集成運動控制單元，以減少蝕刻時間，同時保持高精度，以及一個模塊化的，機器人式的終端效應器，大大提高蝕刻速率和產量。Vector還配備了強大但極其精確的光束對準機，以確保即使是最復雜的圖樣上的緊密跟蹤特性。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector配備了先進的安全系統,以確保所有敏感組件保持完好無損,並始終保護人員。它具有強大的照明工具,允許在操作過程中輕松查看圖樣,以及可用於檢查工具損壞和汙染的實時過程監控資產。NOVELLUS Vector還配備了趨勢分析和數據記錄模塊，以確保每一層都按照預定的規格進行蝕刻。LAM RESEARCH Vector的靈活性使得它適合各種蝕刻解決方案。它易於使用的圖形用戶界面（GUI）和集成的聯網功能使配置作業和將作業從一個工具轉移到另一個工具變得簡單。Vector的開放式體系結構設計確保它與各種供應商提供的所有可用軟件完全兼容。這允許用戶配置和設置自定義流程序列和層組合,以及集成來自任何其他模型的現有作業集。此外，LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector能夠執行多種任務特定的功能，如偏置、離子銑削、深度篩選、碳納米管蝕刻、高縱橫比蝕刻。該設備的設計目的是提供非常低的擁有成本。通過使用單一平臺和集成腔室，可以降低投資成本，提高工藝產量。最後,NOVELLUS Vector是市場上最可靠、最具成本效益的系統之一,使其成為任何希望將其蝕刻和粉刷提升到更高水平的企業的理想解決方案。
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