二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9244876 待售
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ID: 9244876
優質的: 2003
CVD System
Chase PC cart
NPP Rack
NTU
AC Rack
(2) Light curtains
2003 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一款設計用於半導體工業的蝕刻器/asher設備。它是為晶圓制造應用而設計的高性能系統。該裝置專為大批量生產線而設計，提供精確可靠的等離子體蝕刻和灰化工藝。它擁有先進的單晶片基板加工站，具有符合人體工程學的用戶界面，能夠處理各種各樣的晶片尺寸和過濾氣體。NOVELLUS Vector機使用獨特的化學氣相沈積（CVD）工藝蝕刻和清潔半導體表面。CVD工藝在嚴格控制的環境中使用各種氣體組合，在晶圓表面沈積薄薄的材料層。這一過程導致晶片和基板之間的界面質量更高，表面更光滑，缺陷更少。該工具采用模塊化設計,便於擴展和整合新功能。其先進的氣體控制資產提供了卓越的穩定性和工藝參數控制，同時最大限度地減少了停機時間。該模型還提供了一個獨立的加熱控制設備，可以更好地控制過程溫度穩定性。該系統具有多用途硬件配置,具有多個用於高分辨率成像的光學組件,以及用於一致結果的統一沈積模塊。該裝置還有一系列傳感器，用於過程監測和控制，有助於保持過程的效率和質量。LAM RESEARCH Vector機比競爭系統有幾個明顯的優勢，例如其操作範圍大、吞吐量高。此外，其先進的底物加工和沈積能力使其成為各種半導體制造應用的理想選擇。最後，它靈活的設計可以方便地與各種類型的生產線和工藝集成。
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