二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9250686 待售

LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector
ID: 9250686
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
CVD Systems, 12" 2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是一種蝕刻器/asher,設計用來蝕刻各種材料表面。該蝕刻器/asher的創建是為了幫助各種工業應用,從移動設備部件到計算機內存芯片。NOVELLUS Vector 蝕刻器/asher使用雙光束源技術最大限度地提高材料的空白和蝕刻深度。這種雙梁技術不僅限於蝕刻材料,還同時進行層沈積。LAM RESEARCH Vector是為半溫度和溫帶工藝室設計的,在塗料顯影劑中有一系列的工藝敏感劑,用戶可以在其中放置存儲芯片和金屬層等基材,用於精確的蝕刻和開發過程。利用其先進的雙光束源技術,Vector將基板加熱到大約1200 °C至2400 °C的溫度,用於蝕刻或層沈積過程。LAM RESEARCHY/NOVELLUS Vector在其密封室內利用了一個單一的轉移機器人,它能夠以最小的人與人之間的互動,每小時轉移數千種基材。它的光束源有助於創建極小的高精度開口,其雙光束技術有助於減少浪費和保存材料。NOVELLUS Vector最好用於處理直徑在8「到12」之間的晶片,能夠處理復雜的過程任務,如氧化、氮化、金屬化、退火、氮化和低溫擴散。它的自動化工藝和先進的激光源技術確保了精確和精確的蝕刻,與最小的人的互動。總體而言,LAM RESEARCH Vector是一種針對各種材料的高品質蝕刻和精密層沈積而設計的蝕刻器/灰化器。其雙光束源技術和密封室內的單轉移機器人使其能夠處理復雜的過程任務,其微小的光束開口導致高精度蝕刻。Vector是為直徑在8「到12」之間的晶圓而設計的,可以精確高效地加工基板。
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