二手 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector #9378180 待售

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector是為大體積晶圓製造而設計的先進蝕刻/asher設備。用於高科技芯片生產的制造廠；NOVELLUS Vector與其他蝕刻工具一起工作，定義、塑造和清潔晶圓或芯片的不同層。LAM RESEARCH Vector利用氟基等離子體蝕刻和清潔矽、銅和其他材料的薄層。與同類產品相比,它能夠執行各種更精確、更詳細的蝕刻操作。它采用了先進的技術，如氦增強等離子體灰燼（HEPA）、高密度感應耦合（HDIC），實現了對溫度、流量和蝕刻速率剖面的快速、精確控制。Vector獨特的射頻感應源設計還允許精確控制粒子密度和能量分布，從而可以提高蝕刻產率，最大限度地減少對基板的不良損害。此外，系統的設計特別考慮到安全和效率。它結合了先進的自動化技術和質量保證操作，大大減少了蝕刻操作所需的時間。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector的高級軟件套件可確保流程一致性,並消除人為錯誤的可能性。這改進了工具上的計量,使流程工程師能夠在潛在問題成為關鍵性能故障之前快速發現問題。這進一步得益於機組的高吞吐量，使得其非常適合大批量生產。NOVELLUS Vector還擁有一臺先進的內置汙染控制機器,可控制新材料和舊材料的各個方面。這確保了蝕刻室的清潔度，並防止潛在的沈積物被轉移到晶片上，從而可能導致工藝故障。總體而言，LAM RESEARCH Vector是來自NOVELLUS的可靠、高性能的蝕刻器/asher工具。它以先進技術為基礎，對蝕刻工藝提供更大的控制。其安全性和汙染控制功能使其成為大批量生產工作流程的強大工具。