二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595649 待售
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LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蝕刻器/asher,旨在為用戶提供在蝕刻和蝕刻工藝方面的最大靈活性。這種設備設計用於處理各種應用，從通用蝕刻到高精度微加工。它兼具多功能性和可靠性，是許多蝕刻和灰化需求的絕佳選擇。ONTRAK 2300 Exelan Flex由集成控制器、電氣組件、晶圓旋轉木馬、淋浴頭和側壁組件組成。健壯的控制器通過用戶友好的圖形顯示和直觀的控制面板為系統供電,這些面板提供簡單的操作、參數輸入和狀態顯示。電氣組件包括繼電器和接觸器,在運行過程中確保正確的電源和工藝級別。晶片旋轉木馬牢固地固定晶片，用於進出加工室，並采用拋光不銹鋼內部結構，以達到最佳清潔和耐用性。淋浴頭和側壁組件提供了許多可定制的過程,如反應性離子蝕刻（RIE）、感應耦合等離子體蝕刻（ICP）、灰化和剝離。淋浴臺設計為提供整個晶片的均勻蝕刻，而側壁組件則允許選擇性蝕刻，可通過優化晶片在工藝室中的位置來減少蝕刻時間。該單元通過其先進的配方創建實現了出色的和可重復的蝕刻結果，從而允許過程監測和調整。配方性能可以通過分析任何配方/批次上的各種參數--包括晶圓位置和壓力、腔室溫度和壓力、氣體流速和工藝時間--來評估和進一步優化。該機器還具有全面的安全功能,如超壓、過壓和溫度監控系統。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex的設計和制造符合最高質量標準和規格,是滿足許多蝕刻和灰化相關需求的理想解決方案。它結合了全面的硬件和軟件功能、可靠性和靈活性,使其成為許多不同類型的蝕刻和灰化應用程序的絕佳選擇。
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