二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #293595651 待售
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單擊可縮放
ID: 293595651
晶圓大小: 8"
優質的: 2004
Dielectric etcher, 8"
Gasbox
BROOKS / PRI AUTOMATION ATM/VTM Robot
2004 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher,專為各種微加工應用而設計。其加工多種基材的能力,如矽、砷化的、石英、陶瓷等復合材料,使其成為研究人員、工程師和生產人員的可靠、經濟實惠的工具。ONTRAK 2300 Exelan Flex旨在在單個設備中提供最大的過程靈活性。它以熱源、等離子體源和紫外線源相結合的串聯腔室設計來精確控制蝕刻/灰化過程。通用的雙室系統可用於蝕刻、ashing和鈍化過程,兩個室可單獨調節以容納各種基板。該單元還配備了一個內置的動態晶片處理單元,用於高效裝卸基板和改進同時過程控制。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex還提供先進的控制和安全功能,使其特別方便用戶且操作安全。該單元采用了綜合的過程監測機和PID控制,采用高速數據采集工具來優化過程可靠性。增強的安全裝置有助於降低設備損壞和人員受傷的風險,使其成為精細微加工和醫療設備應用的絕佳選擇。2300 Exelan Flex還具有易於使用的設置、控制和監視功能。控制單元允許非易失性配方存儲以及可重復過程的一鍵式操作。該資產還帶有用於遠程操作和監控的集成計算機接口。LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高效且經濟實惠的蝕刻/粉碎機,適用於從醫療設備生產到先進電子元件生產的任何微加工應用。
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