二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #78823 待售
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已售出
ID: 78823
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Etcher, 12"
Specifications:
Mainframe: 2300 ver 2.0 (4VPM)
(Qty 3) FOUP Loaders
(Qty 3) Hermos carrier ID
Light curtain for OHT
Status lamp (RYGB)
25-Slot input buffer station
Cable: TM-Subpanel, 100ft
TMLocal NSR: system backup software
(3) 2300 Exelan Flex CFE etch chambers:
PM1: 2007 vintage
PM2: 2007 vintage
PM3: 2007 vintage
Common Items (Qty 1 per chamber):
1600 L/S Edwards Turbo Pump
PMNSR6215: Dual Chiller Install Kit
PMNSR6496-1A (SEMI F47)
2300 Exelan FLEX Quick Clean Kit
2300 Exelan FLEX Pendulum Valve Kit
2300 Exelan FLEX Service Tool Kit
Gas Box: 16 Line Gas Box (IGS)
Software: 2nd HSMS (Fab comm.) Support
Qty 2: ESC, ASSY, DZ CLG, 2 FNSH, 12"
Electrical: 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
CE marked
2007 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蝕刻和灰分半導體加工設備。它常用於光刻和圖案，以及蝕刻、抗剝離和灰化。該系統是一個高端模型,在廣泛的溫度、壓力和時間範圍內提供統一且準確的處理結果。Exelan Flex專為多種應用而設計，包括晶圓蝕刻、介電和鐵磁圖案以及等離子體蝕刻。它使用通用微波（UWM）發生器運行,並提供多種處理功能和過程。這使用戶能夠在晶圓上以高度的精確度創建精確的模式。Exelan Flex對於抗剝離和灰化以及其他化學加工也是有效的。由於其精確的溫度和壓力控制,Exelan Flex提供了高重復性和準確性。它包括一個基於計算機的圖形用戶界面，允許用戶創建和監視進程參數。該單元還具有多種高級功能，如自動重復編程、實時圖形和批處理。該機還具有化學管理功能和對預編程配方的支持。Exelan Flex是一款非常可靠的工具,提供出色的吞吐量和整體性能。它還提供了易於使用的用戶界面和強大的數據管理資產。該型號還包括排氣設備和系統升級套件等配件，幫助用戶保持設備的最新狀態。最後，這臺蝕刻灰燼機是為最佳安全而設計的，具有為防止事故而設計的內置安全功能。此工具非常可靠和高效,可幫助用戶輕松創建準確的模式、蝕刻和灰燼。ONTRAK 2300 Exelan Flex是廣泛的光刻和陣列應用的絕佳選擇。
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