二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9032660 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex設計用於芯片生產所需的晶片的高通量處理。這種蝕刻器/灰化器的開發是為了為各種基材提供卓越的蝕刻/灰化。該設備采用了專利和高效的溫度控制等離子體工藝，與傳統的加工方法相比，能夠實現更廣泛的蝕刻和灰化要求。它還配備了一個高度可定制和可升級的平臺，允許用戶根據自己的特定應用需求定制設備。Exelan Flex專為易於使用和可靠操作而設計；要求操作員對直觀的用戶界面進行最少的幹預。有了一個開放的卡帶加載系統和對批處理的工具進行編程的能力，它可以快速準確地處理各種各樣的晶圓。它還能夠實時檢測和糾正錯誤，從而降低報廢率。Exelan Flex包括一個集成的質量流控制器和一個完全可編程的晶圓傳遞機器人等功能，能夠精確控制過程氣體和氣動真空。此外，該設備還配備了精密的工藝控制器，能夠控制多個工藝參數，以優化蝕刻和灰化性能。Exelan Flex還具有高精度成像單元,可在任何給定時間同時查看整個晶片。這臺功能強大的成像機可以精確控制蝕刻和灰化過程,並能夠識別晶圓上的熱點或模式,從而提高產量並減少生產操作過程中的損失。Exelan Flex提供了一種環保的蝕刻/灰化解決方案,因為它使用的化學品和溶劑最少,並且減少了視頻顯示終端（VDT）燈泡的排放。ONTRAK 2300 Exelan Flex Etcher/Asher具有卓越的性能、靈活的平臺和易於使用的接口,是滿足任何芯片生產需求的絕佳解決方案。