二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095926 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先進的用於晶圓制造和技術開發的蝕刻/asching設備。ONTRAK和LAM RESEARCH技術的結合，使該系統成為了一個強大的蝕刻、灰化和清潔過程工具。Exelan Flex單元的設計允許精確、可重復的蝕刻和灰化過程,周期時間更短,同時還提供了高度的過程靈活性和可靠性。該機設有兩個高壓離子室，允許自動高壓蝕刻或灰化，或通過氣體脈沖調制微調蝕刻。壓力範圍從100,000到1000 torr是可選擇的。每個腔室的壓力可以獨立調整和監控，允許不同的過程在同一個工具中同時運行。該資產還可設置用於雙源蒸氣蝕刻（DSV），將標準蝕刻/灰化工藝與大氣壓灰化工藝相結合。Exelan Flex采用寬帶微波激發模型,用於有效、高能蝕刻或灰化。該設備可在1.3至13.4 GHz的寬頻率範圍內運行，提供了根據工藝要求調諧和調節激發的靈活性。高靈敏度熱管理系統和氣體休眠自動控制（Gas Repose Automatic Control，GRAC）也包括在單元中，允許使用者精確控制室內的溫度和氣體流量。Exelan Flex是一款高度集成的機器,減少了對附加組件的需求,並提供了靈活、獨立的蝕刻或灰化工具。LAM RESEARCH/ONTRAK和ONTRAK提供專家流程設計和資產整合服務，允許用戶根據自己的特定要求定制模型。對設備中使用的所有部件進行了廣泛的測試，以確保質量和可靠性，使其成為高精度蝕刻和灰化工藝的可靠選擇。