二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095927 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先進的、可靠的蝕刻器或asher,設計用於對多種材料進行等離子蝕刻和灰化。2300能夠對小至1.25mmx1.25mm的樣品進行蝕刻和粉刷,均勻深度可達1000 μ m。該蝕刻器包括高達500 °C的溫度控制和高達300mTorr的動態壓力控制。它還提供了廣泛的基板，包括但不限於TFT、STN、LCD和印刷電路板。機器與所有主要磁帶系統的兼容性允許自動處理和增加吞吐量。此外，2300還能夠處理各種氣體，包括氙氣、氦氣、氟離子和氫氣，以及丙烯或乙烯等有機化合物。此外,它還具有自動晶片傳輸功能,可以有效地加載和卸載晶片。該蝕刻器采用先進的模塊化技術,具有卓越的靈活性和可擴展性。其圖形用戶界面（GUI）提供了用戶友好的功能、操作和編程。憑借其獨特的Computer-In-Loop功能，2300可以與計算機通信，接收額外的參數如配方、溫度和壓力設定點以及等離子體時間的量。2300還配備了先進的自動匹配設備，調整等離子條件，針對不同蝕刻作業優化等離子參數。該設計還允許高效維護,使用方便用戶的工具清潔和更換部件。該機能夠通過自動晶片溫度和壓力控制系統保持晶片的最佳質量。此外，該裝置還受到包括離子泵、等離子體陷阱和真空排氣閥在內的安全措施的保護。為了進一步保護設備，2300包括一個自動真空室排水機和一個泄漏檢測傳感器。總而言之,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先進、可靠的蝕刻器和Asher,通過其獨特的模塊化設計和高級功能提供卓越的靈活性和可擴展性。它提供高效的操作、準確的結果和可靠的安全性，使其成為各種材料蝕刻和粉刷的理想機器。