二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9095928 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高級蝕刻器/asher,旨在實現復雜的基板處理應用。該蝕刻器將高密度反應性離子蝕刻（RIE）和灰分/灰分蝕刻技術結合起來，用於需要高側向分辨率和選擇性的應用中的圖樣化和掩蔽基板。ONTRAK 2300 Exelan Flex配備了變壓空氣軸承式運動控制設備，可實現納米級精度和可重復性，還具有高效的多鍵電子回旋共振（ECR）射頻（RF）光源，用於蝕刻和灰化。此ECR源能夠精確控制蝕刻配置文件和選擇性,從而加快周期時間並獲得更一致的結果。蝕刻器/asher還具有優化的多區域負載鎖和主軸驅動器自動基板處理系統,可確保可靠且可重復地交付基板。它還包括一個外部渦輪泵為基礎的真空單元，使更高的吞吐量。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex設計為完全自動化。自動化工藝配方可以針對各種基材和工藝進行編程，包括多腔灰進/灰出和RIE配方。硬件和軟件便於與現有系統和網絡集成。總體而言,2300 Exelan Flex是一款先進的基板蝕刻器/Asher,可滿足各種基板上需要高精度納米級工藝的應用需求。其變壓空氣軸承運動控制機、優化的多區鎖定和主軸驅動工具以及外部渦輪泵真空資產，提供了令人難以置信的快速、精確和一致的結果。它是需要精密蝕刻和灰化工藝的納米加工應用的理想選擇。