二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9205200 待售
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已售出
ID: 9205200
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Dielectric etcher, 12"
Process: Oxide etcher
Cassette type: (25) Slots Cassette
PM1: LAM 2300 Exelan flex
PM2: LAM 2300 Exelan flex
PM3: LAM 2300 Exelan flex
Gas system type: IGS Gas box
Options:
ESC Type: 385
ESC Cooling: Dual zone
Upper electrode: Heated
Bias match:
2 MHz (5000 W)
27 MHz (3000 W)
12” Turbo pump: 1600 L/s EDWARDS
Endpoint detection: OES
ATM Configurations:
Front end loadport cassette: 3 FOUP
Cassette ID: Hermos carrierid
Factory automation: OHTPIO Sensor w / Light curtain
Input buffer station: (25) Slots
VTM Configurations:
Conditioning station A: No
Conditioning station B: No
Airlock wafer fingers: Stainless wafer pads
Backing pumps for TM: EDWARDS EPX180
Peripherals:
TCU Config: ATS DEX-20A (HT200)
Scrubber
Gas box:
MFC Type: Unit 8561
(12) Gas lines
Tuning gas1 type: O2
Tuning gas1 flow: 10 sccm
Gas box configuration:
Line MFC Type Gas type Gas flow
Line1 Unit 8561 Ar 1000
Line2 Unit 8561 O2 3000
Line3 Unit 8561 CH2F2 100
Line4 Unit 8561 N2 500
Line5 Unit 8561 CO 500
Line6 Unit 8561 CF4 200
Line7 Unit 8561 C4F8 50
Line8 Unit 8561 C4F6 50
Line9 Unit 8561 SF6 100
Line10 Unit 8561 O2 50
Line11 Unit 8561 CHF3 100
Missing parts:
(3) Flex 45 chambers
LAM 2300 ATM Robot o-ring
Ring
He
ESC 38x
RND, 300 M
2005 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款最先進的蝕刻/asher設備,為各種工程過程提供卓越的性能。該系統包括一套完全集成的模塊、組件和工具,可實現大多數現代蝕刻、等離子體清潔和表面修改技術。這種靈活性和自動化允許定期安排、可重復的過程,如光刻、蝕刻、等離子體清洗和表面修改,變得更快、更高效。高精度單元配備了可編程的Active End-Point (AEP)控制器,允許各種蝕刻輪廓,調節蝕刻和清潔過程。隨著蝕刻過程的進行,AEP會自動調整蝕刻時間和電流,從而確保整個過程的蝕刻速率一致。這樣可以提高工程項目的質量、可重復性和生產率。AEP能夠管理各種尺寸、高度和形狀的設備,並可以測量通過材料輪廓進行蝕刻的進度。這臺機器完全可定制,以便針對滿足用戶要求的不同流程進行優化。它包括一個板載超壓可變反作用正向(OVRF)壓力控制工具,能夠實現低至0.0001 Torr的超低真空條件。這種低壓能力可以提高蝕刻精度,使光刻材料更好地粘附在基板上。它還提供表面光潔度控制和先進的材料蝕刻管理。它具有高性能的閥門控制資產,允許在不到一秒的時間內中斷過程,以降低汙染風險。使用EPA(蝕刻過程自動)固件,該模型具有各種自動化功能,以簡化設置和單元優化。這包括流程日誌、設置向導、趨勢分析、性能監控、改進的周期時間優化和單一配方處理。這有助於確保一致性、可重復性和準確性。該設備可通過完全集成的現場和遠程控制系統輕松監控。它通過網絡提供快速的響應時間,並且與流行的軟件兼容,以便於監視和控制各種設置。遠程訪問允許更快地解決問題、多遠程分析、更快的維護周期和可追蹤性審核。ONTRAK 2300 Exelan Flex是一個高級蝕刻單元,可為各種工程過程提供精確、靈活和自動化。憑借其自動化功能和高性能組件,這臺最先進的機器提供了用於快速、準確和高效蝕刻、等離子體清潔和表面修改的工具。
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