二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9232235 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蝕刻器/asher，設計用於在晶圓上產生高精度的器件和圖案。它是使用ProExel技術使用物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）在大小和厚度各異的晶片上的組合精確蝕刻和灰化矽等材料的先進蝕刻器/灰化器。蝕刻器/灰化器由幾個組件組成，包括調頻等離子體源、水平升降室、濕等離子體反應器、垂直升降室、蝕刻室和負載鎖。等離子體源產生與被蝕刻材料相互作用的高能離子，以提高蝕刻選擇性並降低蝕刻速率。水平升降室允許操作員傾斜和旋轉晶片，使其在整個過程中自由移動。濕式等離子體反應器產生均勻的蝕刻輪廓，不需要晶片保護膜或單獨的腔室。垂直提升室和蝕刻室進一步增強了蝕刻過程的自動化，使操作員能夠密切關註蝕刻速率和對復雜架構的選擇性。最後,負載鎖定可確保晶片在整個處理周期中始終牢固地鎖定到位。ONTRAK 2300 Exelan Flex 蝕刻器/asher提供了多種優點,使其成為各種設備級流程應用程序的熱門選擇。它可以在高達800°C的溫度下運行,並且能夠產生具有可重復精度的關鍵幾何形狀。蝕刻器/asher可用於創建各種具有出色蝕刻輪廓的金屬和合金,使其成為MEMS、IO、微流體和III-V應用的理想選擇。蝕刻器/asher還提供了塗層的靈活性，包括沈積各種金屬、介電層和介電堆棧的能力。最後,Exelan Flex 蝕刻器/Asher是市場上效率最高的蝕刻器/Asher之一,它允許高容量的過程而不犧牲質量。