二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9235397 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一種先進的蝕刻和灰化設備,專為復雜設備結構的高通量處理而設計。它能夠以超高速度蝕刻氧化物、氮化物和其他介電材料，以及去除非揮發性碳質有機物，具有極高的均勻性和精確度。Exelan Flex采用雙RF發電機,在交流和直流模式下均可實現高蝕刻速率,並具有可調功率級別以實現最佳控制。該系統還包括一個多源氣體輸送裝置，在蝕刻過程中最多可引入三種氣體，以增加靈活性。Exelan Flex提供了低壓電容耦合和電感耦合等離子體（CCP和ICP）蝕刻的組合,為各種器件結構提供了卓越的性能。其最先進的控制機具有強大的數學邏輯單元（MLU）算法，結合用戶可調節的偏置電壓、氣壓等控制參數，實現了優越的過程重復性和均勻性。Exelan Flex還具有出色的安全功能,符合最嚴格的行業標準。它的全密封環境室確保了對加工氣體和危險副產品的可靠控制，從而能夠在低壓環境中安全運行。它包含一個自動化的自清潔工具,可減少或消除操作過程中的人工需求,以及一個全面的流程庫存控制資產,該資產可自動化物料處理操作並便於快速設置和高效操作。Exelan Flex因其優越的性能和可靠性而在微電子行業被廣泛采用。它能夠以極高的蝕刻速率處理各種介電材料,具有出色的均勻性和可重復性,非常適合用於生產高性能集成電路、VLSI和ULSI設備以及各種其他微電子元件。其先進的安全特性保證了人員和設備的安全，而其全面的過程控制模式則保證了一致的效果。所有這些品質的結合使得ONTRAK 2300 Exelan Flex成為最佳微電子器件制造的絕佳選擇。