二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9237871 待售
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單擊可縮放
ID: 9237871
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Dielectric etcher, 12"
(2) Chambers
2300 Transport module
Dual arm effector wafer handling, 12"
Automated wafer centering
Flat / Notch finding
User interface
Side monitor
Press gauge in SI unit
Online: GEM 300
(2) 2300 Exelan flex DD etch process modules
Fixed gap electrode / One box
ALCATEL 1600MT
Dual gas feed
Dual zone ESC
Heated upper electrode
(2) 12 Gas configurations
2 PM stack kit
System UPS circuity
Seismic bracket (TM / PM / MWS)
System weight dispersion plate (TM / PM / RPM)
ELB With ring lug
(24) MFC 1661 Units
(2) PIO Sensors
(2) OMRON Tag readers
Analog press gauge in SI unit
Digital press gauge in SI unit
Signal input / Output
Quick cleaning kit
2300 Exelan Pend valve CLN kit
(2) TCU: ATS DEX-20A Chillers
(3) FOUP
2004 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能強大的蝕刻和asher設備,專為滿足半導體制造業的需求而設計。此高級系統以獲得專利的Exelan處理平臺為基礎,為幹濕蝕刻和灰化提供了最高水平的精度和性能。Exelan Flex單元利用直觀的圖形用戶界面,允許用戶在蝕刻和asher操作過程中控制單個腔室和監視條件。內置數據記錄器允許用戶跟蹤和監視所有進程中的所有設置和數據點。此數據可用於識別蝕刻和灰化過程與最終產品質量之間的相關性。高度先進的機器具有雙模蝕刻等專有處理技術，允許同時蝕刻和灰化。這允許用戶減少整個蝕刻和灰化過程所需的時間,並在所有生產運行過程中保持一致的結果。此外,該工具還提供二維蝕刻功能,允許蝕刻有角度或彎曲的形狀。Exelan Flex還具有可移動的熱板,可輕松、準確地進行維護和過程控制。此外,熱板還具有加熱至500 °C的能力。這允許用戶實現對高級蝕刻和灰化過程的總體過程控制。最後,該資產具有內置的安全措施,可以防止過溫情況並減少停機時間。總體而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款功能強大的蝕刻和灰化型號,可為用戶提供最高級別的精度和性能。通過利用雙模蝕刻、二維蝕刻和可移動熱板，用戶可以確保在所有生產運行過程中的一致性和全過程控制。此外,安全措施和內置數據記錄器還提供了額外的保護和數據跟蹤層。
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