二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9240729 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款具有專利等離子技術的高精度等離子蝕刻設備。這款蝕刻器專為廣泛的半導體應用而設計，具有卓越的蝕刻質量、高工藝穩定性和出色的均勻性。它提供了一個大的溫度範圍和支持廣泛的操作條件。蝕刻器還可用於聚類應用，最多可容納八個加工室，允許同時蝕刻元件。Exelan Flex由脈沖等離子體源提供動力,能夠對諸如蝕刻、柵極氧化物蝕刻、氮化物蝕刻和高長寬比蝕刻等應用進行卓越的蝕刻工藝控制。其先進的等離子體處理系統利用多維磁場產生均勻的等離子體分布和高度可重復的蝕刻剖面。這就產生了較好的蝕刻深度均勻性和較低的裝置駐波。它還有一個集成氣體攪拌機和一個自動氣體面板，用於動態過程控制。蝕刻器配有板載光學端點檢測單元，用於監控蝕刻過程。它還有一個自動控制機器，用於監視和調整蝕刻參數，以實現準確和可重復的蝕刻輪廓。Exelan Flex占地面積小，可以很容易地與其他設備集成，如晶圓裝載機、機器人處理程序或蝕刻後檢查工具。它采用模塊化設計,允許對資產配置進行全面定制,同時還提供了方便的維護和過程傳輸。總之，ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高度創新的蝕刻器，專為廣泛的半導體應用而設計，蝕刻質量優越，工藝穩定性高，均勻性極佳。其先進的等離子體加工技術和高度可重復的蝕刻輪廓使其成為等離子體蝕刻工藝的理想選擇。