二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9283189 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先進的蝕刻/灰分半導體加工設備,旨在提供高分辨率、高性能的結果。該系統采用先進、通用的技術,使其能夠處理各種基板,從Flash/FTL/eMMC內存的小片到5「或6」晶片。它采用了幾種先進的技術來提供卓越的蝕刻和光灰能力以及卓越的零容忍對準能力。ONTRAK 2300 Exelan Flex有兩個不同用途的會議廳。上室為經典蝕刻室，旨在最大限度地提高工藝的均勻性和性能。它利用連續波、射頻感應和下遊等離子體處理，以及低功率和高功率感應耦合等離子體源。下腔有利於125毫米晶片的光灰處理，結果一致且高度均勻。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex因其先進的自動化、內置烤箱和可選的延長時間程序（ETP）模式而易於使用和編程。利用ETP功能,用戶可以對一系列按順序運行的進程進行編程,從而節省時間並改進結果。該單元還擁有一臺獲得專利的多刀具自動夾緊（MAC）機器,該機器可自動將蝕刻過程配置為晶圓的負載和幾何形狀,從而確保最佳結果和周期時間。2300 Exelan Flex可靠且用途廣泛,提供卓越的性能和效果。它具有多種工藝監測能力，包括對等離子氣體的原位監測、牽引點種子的存在和厚度測量。它還包括高速蝕刻的閃光循環算法、精確的氣流控制，以及確保精確、可重復結果的溫度控制工具。LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款可靠、適應性強的工具,非常適合生產Flash/FTL/eMMC內存或其他尺寸不超過125mm的基板。憑借其先進的技術、自動化和面向性能的設計,ONTRAK 2300 Exelan Flex提供了高產率和重復性的卓越效果。