二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9329258 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款適用於先進電路制造的高性能蝕刻器/asher。該儀器配備了線性驅動晶片級、12位傾斜級和曝光傳感器放置掃描儀等多種功能。它設計用於幹濕蝕刻工藝，可用於蝕刻各種薄膜結構，從金屬互連到2微米不等。此外,2300 Exelan適用於多種工藝,包括：粗加工、創建超淺接頭、制造觸點、微挖溝和聚酰亞胺蝕刻。2300 Exelan具有幾個先進的選項,例如用於控制蝕刻和沈積過程的氣體濃度控制設備（GCCS）,以及用於精確控制過程參數的緊湊型射頻發生器（CRG）和可編程電源（PPS）。此外，該系統還配備了高分辨率自旋塗層、等離子體源清潔劑和快速離地監測儀，可精確控制化學和關鍵工藝參數。2300 Exelan還具有高通量運行能力，最多100個晶圓/小時蝕刻容量。通過為每個配方在晶片級放置4到8個晶片,然後微調每個蝕刻配方的每一層的參數以滿足客戶的特定要求,可以實現此吞吐量。此外，該裝置的設計旨在減少與操作員相關的錯誤，采用直觀的HMI（人機界面），簡化配方設置，消除繁瑣的手動對準和校準過程。2300 Exelan的能力高度通用；除了蝕刻晶片級金屬層外，還可以蝕刻非導電材料，如有機層，包括抗蝕劑、玻璃和氮化物層。該機還設計用於高精度應用，氣流控制極佳，顆粒負荷低，參數精確、可重復。總體而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款高性能蝕刻器/asher,旨在為高級電路制造提供卓越的精度和吞吐量。該工具提供多種功能以確保過程可重復性,包括高分辨率旋轉塗層、等離子體源清潔器、GCCS和高度直觀的HMI。它還設計用於高通量操作,具有高達100個晶圓/小時的蝕刻能力,並且能夠蝕刻各種材料類型。