二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款蝕刻器/asher，設計用於提供平面和大尺寸基板的高速圖案。它在半導體工業中最常用於器件制造。該蝕刻器利用感應耦合射頻能量和直接寫入電子束蝕刻技術，在一系列材料的沈積和陣列中實現高通量速率。設備還配備了一個微波源和兩個用於進行薄氧化物蝕刻的等離子體源。此外，這一系統能夠加工高達2.5 μ米厚的鋁和高達5 μ米厚的氧化鋁。該設備的「正在進行中」和「從卷軸到卷軸」集成提供了高的吞吐量和電源效率,而其檢測監視器可用於連續檢查完整打印的晶片,而無需掩碼和光學成像。此外，Exelan Flex有一個靈活的反應堆設計，可以方便地進入每一個加工室，還有一個可伸縮的頂部裝載機，用於堅固和高效的處理。Exelan Flex由操作員友好型基於PC的軟件控制,該軟件為用戶提供了一系列工具,可通過觸摸按鈕來配置每個流程步驟。除了常規指令和程序執行外，該工具允許手動控制和設置工藝參數，並對每個腔室的工藝狀態提供實時監控。它還提供了多種自我診斷功能,可持續監控設備的性能。Exelan Flex還與許多流行的CAD格式兼容,並具有模塊化設計,使其能夠輕松地集成到現有生產線中並使整個過程自動化。它是一個可靠和用戶友好的蝕刻器/asher，非常適合各種基材的圖案，包括矽、玻璃、塑料和金屬合金。總體而言,ONTRAK 2300 Exelan Flex是一款先進的、經濟實惠的蝕刻器/asher,是需要高速制圖和沈積的半導體行業的理想選擇。