二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9241856 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是一款asher/etcher,旨在獲得最高的產品產量和最低的擁有成本。它能夠一批處理多達五種不同的晶片尺寸，處理速度高達每小時100,000晶片。該系統利用新型改進的微型扇形梁分布源，提供了更好的光束均勻性。該系統采用高速、高效蝕刻，可選範圍為30至150微米。ONTRAK 2300 Kiyo45提供多種設計和處理選項,以確保對每個應用程序進行精確處理。它具有先進的晶圓處理能力，包括單位晶圓處理器，以及子角度可編程蝕刻（SPE），它自動調整光束的角度以保持蝕刻均勻性，並消除對汙染物的暴露。它還具有溫度範圍為-30度至+150攝氏度的基板和晶圓溫度監測以及+7.5和-10.0度的晶圓傾斜調節角度。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45高度自動化,具有自動裝卸和對齊、LF載體和配方管理功能。它還具有高端缺陷檢測能力，能夠檢測表面汙染和蝕刻後缺陷。它還具有高性能3D晶圓映射功能,可用於提高工藝產量。2300 Kiyo45是一種多功能、高性能的asher/etcher解決方案,可輕松集成到現有和未來的生產環境中。它具有先進的安全功能，為操作人員提供方便的用戶界面，便於設置和操作。利用先進的光束和蝕刻技術，它提供了一致的結果和優化的產量。