二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9245885 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一種asher/etcher,用於減法過程,在基板上創建小型化特征。它配備了兩室設計，允許用戶同時蝕刻不同的層，而不必停止過程，用新的基板重新裝入腔室。該Kiyo45具有21英寸、高分辨率的X-Y級,速度是其前身的兩倍,並具有機動化級,可快速精確地重復性以優化過程。該Kiyo45是一種減法加工蝕刻器,設計有上下兩個反應器.上腔配有感應耦合等離子體（ICP）源，由射頻電源和源腔組成。ICP源提供了高密度的射頻等離子體，非常適合金屬和其他硬質材料的蝕刻。下腔配有高密度、高功率、低壓等離子體（DPP）源。DPP源用於蝕刻各種材料，從陶瓷到薄膜和樹脂。該Kiyo45還帶有一個自旋到夾具（STC）卡盤，以提供均勻的晶圓接觸和防止在處理過程中損壞。此外,Kiyo45還配備了無粘滯、1000步/秒的X-Y機動化級,以最大限度地提高工藝速度和精度。此外，X-Y階段響應快，可重復進行快速、精確的工藝優化。該Kiyo45配備了功能強大的多視圖查看系統,用戶可以通過實時數據查看來控制和監視過程。隨附的CONTROL ESC軟件包為用戶提供了對各種蝕刻參數的控制，如射頻功率、壓力、氣體流量和定時序列。Kiyo45蝕刻器是在各種基板上生產微結構的可靠而堅固的工具。它是為經濟高效的操作而設計的，是薄膜層蝕刻、多種基材以及先進工藝開發和研究的理想解決方案。