二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255632 待售

LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45
ID: 9255632
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Etcher, 12" 2011 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45 Etcher/Asher是一種多功能、緊湊、雙室設備,用於粉刷、蝕刻和濺射薄膜,需要精確的處理控制和可重復的結果。該系統采用6英寸、30微米的插槽噴嘴設計,用於產生用於蝕刻和濺射應用的等離子體。ONTRAK 2300 Kiyo45是一個全自動單元,具有自動關閉真空安全門和用戶友好的液晶彩色觸摸屏操作。該機器由PLC控制,為用戶提供準確的控制和可重復的過程結果。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45包括兩個獨立控制的階梯式會議廳,提供對申請過程的精確控制。每個腔室都能獨立控制溫度、壓力和射頻功率。這允許用戶精確控制蝕刻和濺射過程,以確保獲得最佳效果。2300 Kiyo45配備了大容量液體供應工具,可將蝕刻劑精確地直接分配到燒杯中。兩區循環液體資產可進行溫度控制和單獨加熱。此功能可確保以精確的結果執行蝕刻和濺射過程。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45除了階梯式腔室和液體供應模型外,還配備了高速、射頻驅動的冷卻設備,以防止加工過程中發生熱損壞。該系統的風扇冷卻排氣裝置可以有效地排出所有加工氣體。ONTRAK 2300 Kiyo45還包括一個內置洗滌器,用於防止有害過程氣體吸入的最佳性能。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 Etcher/Asher是需要從蝕刻和/或濺射過程中獲得精確、可重復結果的用戶的理想選擇。其緊湊的設計和易於使用的觸摸屏界面使其非常適合需要精確控制和可重復結果的蝕刻和濺射應用。
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