二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255637 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一種蝕刻/灰化設備,用於集成電路的精密蝕刻和灰化。它是一個高度可靠的高級系統,專為流程開發和自動化生產應用程序而設計。它能夠實現很高的均勻性和非常低的排空水平。該單元由一個有兩個電極、一個加熱器、一個控制器單元和一個氣體噴射機的真空室組成。氣體註入工具用於確保較高的蝕刻速率，腔室配備特殊的等離子體清洗系統，確保清潔的蝕刻過程。腔室可容納高達8英寸的晶片，加熱器範圍為-20°至400+°C。控制器單元能夠控制蝕刻過程的所有參數，如溫度、壓力、氣流、蝕刻時間等等。該資產能夠蝕刻矽、氮化矽、多晶矽等多種材料。它也可以用來蝕刻透矽vias，或TSV，形成3維集成電路。該Kiyo45具有45nm蝕刻深度和1-200 nm蝕刻分辨率。它還具有從10-7 torr到1 torr的真空等級。該模型能夠在整個晶片上提供高度均勻的蝕刻，並且具有高度可重復的過程。其可選的工藝監控設備允許實時反饋蝕刻工藝。它還具有多種安全功能,例如多個互鎖區域和專門的擦洗系統,旨在保護用戶免受危害。Kiyo45系統也是一個環保單位，因為它符合所有適用的環境法規。它不需要任何危險的化學氣體，蝕刻過程中產生的任何危險顆粒都會被迅速洗去。總體而言,ONTRAK 2300 Kiyo45是一種可靠且用途廣泛的蝕刻器/asher機器,非常適合集成電路和其他光刻工藝的精密蝕刻。它非常適合過程開發和自動化生產操作,而且環保。