二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9312590
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Etcher, 12"
(3) Poly
FI Type:
Signal tower: 3-Color
(3) Loadports
ATM Robot
(13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station
Aligner
TM Configuration:
Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber
BROOKS Magatran 7 Robot
(4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223
HPS 970 TM Pressure gauge
MKS 640 Control
Loadlock pressure gauge: Hasting
Process module for PM1 / PM2 / PM3:
MKS Pressure gauge, 0.1Torr
VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve
EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias
Gas panel:
Type: IGS
16-Channels
MFC Type: SEC-Z313M
Gas / Range
CF4 / 50 SCCM
CH2F2 / 50 SCCM
H2 / 100 SCCM
SF6 / 10 SCCM
Ar / 500 SCCM
N2 / 100 SCCM
CHF6 / 200 SCCM
C2F6 / 200 SCCM
CF4 / 200 SCCM
SF6 / 200 SCCM
He / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
Cl2 / 200 SCCM
HBr / 50 SCCM
HBr / 500 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一種蝕刻/asher工具,旨在生產具有亞微米特征尺寸的高精度微結構。此工具能夠在單次通道中蝕刻/灰化多達5密耳（127.0 μ米）的材料,並處理尺寸可達12英寸（305.8毫米）的基板。它具有兩條獨立的氣體路徑，允許蝕刻金屬和非金屬薄膜以及合金。該工具還具有令人印象深刻的± 0.005毫米（0.0002英寸）的精度和± 0.001毫米（0.00004英寸）的可重復性，使用戶能夠快速高效地生產高質量的元件。蝕刻器/asher單元配備了雙源等離子體源，它提供了廣泛的蝕刻輪廓和均勻的蝕刻速率。它還有一個15 W的CO2激光器，可以在零件上塗上激光標記，並具有高分辨率的相機來監視激光束。ONTRAK 2300 Kiyo45采用具有高頻（HF）選項的高級射頻（RF）電源,可實現更高的模式重復性並提高生產吞吐量。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45具有用戶友好的功能,包括彩色觸摸屏界面、自動基板識別、工藝優化參數以及廣泛的工藝設置。它還具有快速準確的視覺系統，可提供精確的ID檢測和視覺輔助底物對準。該工具旨在減少與粒子相關的缺陷並最大限度地提高吞吐量,並且可以定制以滿足客戶的特定蝕刻和灰化需求。2300 Kiyo45非常適合生產高長寬比、特征尺寸小、後蝕刻殘留量最小的超細結構，非常適合平板顯示器、航空航天部件、醫療設備部件等多種制造應用。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45以其精密的蝕刻控制、卓越的精確度和多功能性相結合,是尋找可靠、精密的蝕刻工具的人的理想選擇。
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